Thermal Mass เป็นค่าคุณสมบัติของสะสารในการสะสมพลังงานความร้อนไว้กับตัว การสะสมความร้อนของทั้งสองสะสารจะไม่เท่ากัน ซึ่งโดยส่วนใหญ่นั้น วัตถุที่มีน้ำหนักและความหนาแน่นสูง จะสะสมความร้อนได้มากกว่า ทั้งนี้การสะสมความร้อนไม่หยุดอยู่แค่การสะสมพลังงานความร้อนของสะสารเพียงอย่างเดียว เพราะเมื่อบรรยากาศรอบสะสารมีการเปลี่ยนแปลงหรือเย็นลง ความร้อนที่สะสมไว้ก็จะแผ่รังสีออกมา ตามกฎของฟิสิกส์ที่ว่าจุดที่มีพลังงานมากจะแผ่พลังงานไปยังจุดที่มีพลังงานน้อยกว่าเสมอ ฉะนั้นพื้นที่โดยรอบสะสารนั้นจึงมีความอุ่นหรือร้อนอยู่เสมอ

ใช้หลักการวัดตรวจวัดค่าความแตกต่างของอุณหภูมิ 2 จุดด้วย RTD sensor เมื่อมีไหลผ่านของแก็สหรือของเหลว จะมีการเปลี่ยนแปลงขึ้นและสัมพันธ์กับอัตราการไหลนั้น Convertor จะคำนวณและแสดงค่าอัตราการไหล พร้อมส่งสัญญาณของการไหลสะสมเป็น Pulse Output / Analog Output / Switch ไปยังอุปกรณ์ในส่วนควบคุมกระบวนการ ซึ่ง Thermal mass flow meter นี้เหมาะกับการใช้วัดหาอัตราการไหลเชิงมวลในการวัดปริมาณของแก็ส อากาศ หรือของเหลว เป็นต้น